【摘要】磷烷是半导体制备工艺中不可缺少的气体。介绍了磷烷的性质、应用及制备方法，根据不同的制备工艺对其合成方法进行了分类评析，指出了各种制备方法的优缺点。综合各方法的特点，指出了今后制备磷烷的方向。
【关键词】
《岩性油气藏》 2015-11-17
《四川地质学报》 2015-11-17
《贵州警官职业学院学报》 2015-11-17
《考试与评价》 2015-11-17
《当代体育科技》 2015-11-17
《考试与评价》 2015-11-17
《黑龙江冶金》 2015-11-18
《服饰导刊》 2015-11-17
010-56259535
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